KLA-Tencor Japan : 製品情報

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正確かつ高速の薄膜測定やプロファイリングは、各種プロセスを管理し、ウェーハファブの生産性向上に欠かせない技術です。KLA-Tencorの薄膜ストレス測定、4探針シート抵抗測定、サーフェスプロファイラ、薄膜測定システム、非接触式酸化膜モニタリングシステムなどの全ての測定システムが、業界の標準モデルとして使用されています。

リソグラフィー工程管理は、レチクル品質管理から始まります。最高のレチクル品質を得るためには、マスクメーカーでの完全な検査と分析、ウェーハファブでの品質管理が必要です。このための300UVシリーズとSTARLightシリーズにより、優れた感度のレチクル検査技術を提供いたします。さらに、露光・現像後のウェーハ品質管理は、KLA-Tencorの重ね合わせ検査装置、CDSEM、自動マクロ検査装置とデータ解析ソフトにより実現します。

KLA-Tencorのウェーハ検査装置および自動欠陥分類システムなどのソフトにより、生産ラインの歩留まりモニタ能力を飛躍的に改善します。このためには、モニタウェーハの異物検査装置、パターン付ウェーハ異物検査装置、などを最適に組み合わせることが必要です。

量産ラインでのインライン検査の回数の増大と、広範囲なオフライン検査データの取り組みの結果、取扱うデータ量が急激に増大しています。さらに、歩留まり低下を早期に発見し、このデータを速やかにかつ効率的に解析して自動的にレポートを作成し、歩留まり低下につながる欠陥発生のメカニズムを抽出・特定し、継続的な欠陥削減プログラムを確立する必要に迫られています。
KLA-Tencorの欠陥データ管理システムは、このようなニーズに応えるために開発されています。ファブ全体のウェーハ検査装置、レビューシステム、SEMおよびプローブソートなどの多数のシステムからの欠陥データや計測データをリアルタイムで自動的に収集し、先進的なモニタリングと歩留まり相関およびレポート作成を目的として、データ情報の統合化を実現します。

装置のライフサイクルを通じて、お客様のニーズに合った製品やサービスを提供する、資産管理プログラムです。オリジナルのスペックが保証された、中古リファブ装置を提供するだけでなく、既存の装置の機能を拡張するためのシステムソフトウェア、ハードウェアのアップグレードを提供します。　中古装置の販売、既存の装置の買取、下取り、アップグレードを実施しています。

LED, Storage部　お問い合わせ　電話番号: 045-335-8084

SensArray部　お問い合わせ
電話番号 : 045-335-8412, 　Email : Sensarray.Japan@kla-tencor.com

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電話番号 : 045-335-8412, 　Email : Sensarray.Japan@kla-tencor.com

ICOS部　お問い合わせ　電話番号: 045 - 335 - 8930

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