| プロセスパラメータ管理モジュール |
| ウェーハ形状／ 特性測定装置 |
Alpha-Step IQ | 段差･表面あらさ･微細形状測定装置 |
| Alpha-Step D-100 | スタイラスプロファイラ | |
| Alpha-Step D-120 | スタイラスプロファイラ | |
| P-6 | 段差･表面あらさ･微細形状測定装置 | |
| P-16+ | 段差･表面あらさ･微細形状測定装置 | |
| MicroXAM-100 | 表面形状測定装置・干渉計 | |
| 上記6製品 お問い合わせ ヤマト科学株式会社 先端機器営業部 評価試験センター 電話番号: 03-5639-7083、 FAX番号: 03-5639-6031 |
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| ウェーハ形状／ 特性測定装置 |
HRP-250 | 表面トポグラフィプロファイラ |
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| Aleris Family | 高性能膜厚・膜組成測定装置 | |
| SpectraFx 200 | 絶縁薄膜測定装置 | |
| 高度な300mmシート抵抗マッピングシステム | ||
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| SpectraShape | 光学式CD・プロファイル測定装置 | |
| SpectraCD-XTR | 高スループット光学式CD･プロファイル計測装置 | |
| SpectraCD 200 | 光学式CD側長及び膜厚測定装置 | |
| AcuShape | 次世代デバイス構造に対応の スキャトロメトリモデリング・ライブラリ作成システム |
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| WaferSight 2 | 次世代ウェーハ形状測定装置 | |
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| リソグラフィ工程制御モジュール |
| 欠陥／異物検査装置 | ||
| Teron 600 | 最先端のレチクル開発 および 製造向けのレチクル欠陥検査プラットフォーム |
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| TeraFab シリーズ | ICファブアプリケーションに対応する レチクル欠陥検査装置 |
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| TeraScanXR | 全面レチクル検査装置 | |
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| 測定装置 | Archer 300 LCM | オーバレイ計測システム |
| Archer 200 | 高性能光学式オーバレイ計測 | |
| Archer 100 | 高性能光学式オーバレイ計測 | |
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| マクロ検査・ レビュー装置 |
LDS3300 | パターン付きウェハ用マクロ検査・レビュー装置 (200mm/300mm) |
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| インテリジェント・ラインモニタ |
| 欠陥／異物検査装置 | 29xx/28xx シリーズ | 広帯域パターン付きウェーハ欠陥検査装置 |
| 2830 | 明視野パターン付きウェーハ欠陥検査装置 | |
| 281X | 高解像度ウェーハ検査装置 | |
| XP | デザイン意識の検査および レシピアクセラレータオプションパッケージ |
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| Puma9650 シリーズ | ナローバンドパターン付きウェーハ欠陥検査装置 | |
| Puma9500 | 暗視野パターン付きウェーハ検査装置 | |
| Puma91xx | 高性能パターン付きウェーハ欠陥検査装置 | |
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| 8900 | 高サンプリングレートの パターン付きウェーハ欠陥検査装置 |
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| VisEdge Family | ウェーハエッジ検査装置 | |
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| Surfscan シリーズ SP3 |
パターンなしウェーハ表面検査装置 |
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| SP2 XP | ウェーハ表面検査装置 | |
| SURFmonitor | プロセスシグニチャー解析装置 | |
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| eDR-7000 | 電子ビームウェーハ欠陥レビューおよび分類装置 (E Beam Review) |
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| eS800 シリーズ | 電子ビームウェーハ検査装置 (E Beam Inspection) |
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| 歩留まり解析ソフト/システム |
| 歩留まり・欠陥解析システム | Klarity Defect | 自動解析/欠陥データ管理システム |
| Klarity ACE XP | 歩留まり解析ツール | |
| Klarity Bitmap | フェイルビット解析ソフト | |
| KLARITY LED | LEDの歩留まり向上と歩留まり立ち上げ時間 の短縮につながる自動欠陥解析 |
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| ウェーハ歩留まり解析システム | FabVision | 歩留まり解析補助システム |
| FabVision Solar | 太陽光発電セル・ウェーハ製造工場向け 歩留まり解析補助システム |
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| DFMツールとプロセス最適化 | PROLITH | 光リソグラフィ最適化およびDFMツール |
| ProDATA | 高度なリソグラフィデータ解析 | |
| ProBEAM | 3次元電子ビームリソグラフィシミュレーション | |
| LithoWare | 次世代用高信頼性OPC/RET最適化ツール | |
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| K-T Certified 中古装置認定システム |
| K-T Certified (米国本社HPへ) | ||
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| ウェーハ形状／特性測定装置 | Therma-Probe 630XP | インラインイオン注入 およびアニールプロセス計測装置 |
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| 測定装置 | Archer XT+ | 高性能重ね合わせ検査装置 |
| Archer AIM+ | 高性能重ね合わせ検査装置 | |
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| ウェーハ歩留まり解析システム | 2367 | 高解像度ウェーハ検査装置 |
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| データストレージ・LED・パワーデバイス等の化合物半導体の検査ソリューション |
| データストレージ | Optical Surface Analyzer | ||
| Candela 6300 Series | メディア表面検査装置 (粗さ・うねり測定の機能強化) |
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| Candela 7100 | マイクロピット、バンプ、および異物の 欠陥検出と分類 |
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| LED・パワーデバイス | Optical Surface Analyzer | ||
| Candela CS10 | ウェーハ表面検査装置 |
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| Candela CS20 | 自動ウェーハ表面検査装置 |
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| Candela 8620 | 自動ウェーハ表面検査装置 (基板およびMOCVDプロセス制御の 歩留まり向上を可能に) |
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| ICOS WI-2220 | |||
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| 後工程最終外観検査装置 |
| 後工程 最終外観検査装置 |
ICOS CI-3050 |
| ICOS CI-T120/CI-T130 | |
| ICOS CI-T120S/CI-T130S | |
| ICOS CI-T620 Component Inspector | |
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| ICOS PVI-6 | |
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| ICOS WI-2220 | |
| ICOS WI-22xx Series | |
| ICOS WI-2xx0 | |
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| ウェーハ・フォトマスク・フラットパネル等のプロセス温度測定システム |
| SensArrayTM | Lithography | リソグラフィ プロセス用 |
| Plasma Etch | プラズマ エッチング用 | |
| Thin Films and Thermal Processes | 成膜プロセス用 | |
| Wet Process, Implant, Probe | 洗浄、インプラント、プローブ(テスター)用 | |
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| System Architecture - Wired | ワイヤード製品システム構成 | |
| System Architecture - Wireless | ワイヤレス製品システム構成 | |
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| SensArray 米国本社HPへ | ||
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| SensArray部 お問い合わせ 電話番号: 045-335-8412 Email: Sensarray.Japan@kla-tencor.com |
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| 半導体計測機器の校正標準試料 |
| VLSIスタンダード (専用HPへ) |
VLSI お問い合わせ 電話番号: 045-335-8412 Email: Sensarray.Japan@kla-tencor.com |
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