歩留まり解析ソフト/システム DFMツールとプロセス最適化 LithoWare 次世代用高信頼性OPC/RET最適化ツール LithoWareはLinuxベースの新しいOPC/RET開発ツールです。LithoWareは次期ノードのOPC/RET開発のための高い信頼性を持つKLA-Tencor製のツールです。 特長 OPCとプロセスを同時に最適化できるので、プロセスとOPCの開発の手間と時間を削減できます。 レジスト・プロセスを予測することにより、実際のリソグラフィ・パフォーマンスを把握し最適なプロセスとOPCの選択を可能にします。 分散処理により、実行時間を短縮できます。 プロセス条件が変っても再キャリブレーションが不要なので、実験範囲が広がるとともに、ターンアラウンド・タイムが短縮します。 既存のツールを補って、EDAの流れにシームレスに一体化します。 その他のシミュレーション関連製品 PROLITH : 高度なリソグラフィ最適化 ProDATA : 高度なリソグラフィデータ解析 ProBEAM : 3次元電子ビームリソグラフィシミュレーション Chris Mack著 “LITHOGRAPHY GLOSSARY”(米国本社HPへ) ユーザ専用ウェブサイト(英語) PROLITH, ProDATA, ProBEAMのユーザ、かつ保守契約を結んで頂いているお客様で、登録されたユーザのみアクセス可能です。 ユーザ専用サイト サイトへのアクセスの申請 パスワードを忘れたお客様 DFMツールとプロセス最適化 製品のお問い合わせ リソテックジャパン株式会社 電話番号 048-258-6775、　FAX番号 048-258-6673 弊社　お問い合わせフォーム このページのいちばん上にもどる 製品詳細一覧にもどる Copyright © 2011 KLA-Tencor Corporation. All rights reserved.