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| DFMツールとプロセス最適化 ProBEAM 3次元電子ビームリソグラフィシミュレーション | |||||||||||||
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 ProBEAMTMは、3次元電子ビームリソグラフィシミュレーションツールです。時間とコストを節約するために、マスク製造や直描および投影電子ビームリソグラフィに関連した複雑な問題に対する検査機能を提供します。ProBEAMは電子ビームリソグラフィに関する問題を迅速かつ正確に解決します。 特長
アプリケーション マスク製造、電子ビーム直描リソグラフィ、電子ビーム投影リソグラフィ、裏面検査、および根本原因の解明 その他のシミュレーション関連製品
Chris Mack著 “LITHOGRAPHY GLOSSARY”(米国本社HPへ) ユーザ専用ウェブサイト(英語)
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