リソグラフィプロセスの最適化と制御のための業界屈指のソフトウェアソリューションであるProDATA^TMは、コントラスト曲線、スウィング曲線、フォーカス−露光量マトリックスなどのファブデータを、すばやく、正確かつ確実に解析できます。ProDATA SEM Image Analysis (SIAM)を使用すると、トップダウンSEMイメージおよび任意の形状の2次元パターンをすばやく確実に解析でき、リソグラフィパターン転写の特性評価や最適化を行う設計者およびプロセスエンジニアやツールエンジニアを支援します。


アプリケーション

リソグラフィ、エッチング