KLA-Tencor Japan


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・	KLA-Tencorが、韓国の有力なLEDデバイスメーカによるCandela CS20プラットフォームの採用を発表

・	KLA-TencorはEUVリソグラフィとダブルパターニング・リソグラフィの問題解決のためにコスト効率の良いPROLITH^TM X3.1バーチャル・リソグラフィ・ツールを発表