KLA-Tencor Japan



・	KLA-Tencor が最先端半導体デバイスの開発および量産立ち上げを加速する高機能ウェーハ欠陥検査装置のポートフォリオの中心となる三機種を発表： 2900 シリーズ, Puma 9650 シリーズ, eS800 シリーズ

・	KLA-TencorがIn-situ半導体プロセスモニター用ソリューション、SensArray^TM製品群に新製品の追加を発表

・	KLA-Tencor^TMがeDR^TM-7000電子ビームウェーハ欠陥レビュー装置を発表

・	KLA- Tencorがウエーハ製造とICプロセス管理のための新しい欠陥および表面品質検査装置Surfscan® SP3を発表

・	KLA-Tencor社がFabVision^TM Solarを発表

・	KLA-Tencor^TM と東京エレクトロンが、次世代モデリングソフトAcushape^TM2を備えた新しいメトロロジー装置SpectraShape^TMを発表



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